Pfeifferターボ分子ポンプHiPace 80
上海伯東ドイツ普発ターボ分子ポンプPfeiffer HiPace 80は71 l/sの高性能を引き出すことができるターボ分子ポンプ・HiPace 80の全ガスに対する高抽気速度と極高圧縮比は真空業界に広く応用されている。産業環境に適する集積駆動回路である、保護レベルIP 54、半導体S 2、UL/CSAにより認証される.コントローラモニタによる演算データ保証ぶんしポンプの最高安全性を実現します。ターボ分子ポンプHiPace 80は、任意の位置に取り付けることができる.自然空冷、多種の部品は広範な応用を満たすことができる。
ターボ分子ポンプHiPace 80技術パラメータ
分子ポンプモデル |
インタフェースDN |
抽気速度l/s |
あっしゅくひ |
最高起動圧力mbar |
きょくげんあつりょく |
全回転数ガス流量hPal/s |
起動時間 |
じゅうりょう |
|||
くうきいりぐち |
はいきぐち |
ちっそガス |
ヘリウムHe |
水素ガス2 |
ちっそガス |
窒素ガスN2 |
hPa |
窒素ガスN2 |
min |
kg |
|
HiPace 80 |
63 |
16 |
67 |
58 |
48 |
> 1X1011 |
22 |
< 1X10–7 |
1.3 |
1.75 |
2.4 |
Pfeifferターボ分子ポンプHiPace 80入門キット:
このモデルでは、HiPace 80分子ポンプ本体1台と制御電源などを含む完全なセットを提供し、分子ポンプセットを選択して基本的な応用を満たし、すべての場合に設置し、簡単にターボ分子ポンプを調整することができます。スイート内の構成は次のとおりです。
|
DCU 110,電源を含む表示制御ユニット |
|
分子ポンプ電源とコントローラの接続線 |
|
ふうれい |
分子ポンプ応用HiPace 80
分析機器:電子顕微鏡、漏れ検出、小型質量分析、表面分析、残留ガス分析
半導体:PVD、inspection、bonding、MBE、load-locks
工業:医学技術、工業検査漏れ、隔離真空、ランプ製造
研究開発:核研究、プラズマ研究、粒子加速器、冷凍研究、ナノテクノロジー、バイオテクノロジー
上海伯東顧客分子ポンプ応用一:HiPace 80、HiPace 400は分子ビームエピタクシーMBEに用いられ、主に金属薄膜及び材料デバイスの酸化物エピタキシャル成長に用いられる。
上海伯東顧客分子ポンプ応用二:HiPace 80、HiPace 300はSPECS近常圧光電子分光装置用
上海伯東顧客分子ポンプ応用三:HiPace 80、HiPace 300は真空チャンバを自主的に構築するために使用される
分子ポンプのポンプ速度HiPace 80 異なるガスの吸引速度:
ターボ分子ポンプHiPace 80 寸法図:
ターボ分子ポンプHiPace 80現在販売されているモデル:
分子ポンプHiPace 80 TC 110 DN 63 ISO-K
分子ポンプHiPace 80 TC 110 DN 63 CF-F
分子ポンプHiPace 80 TC 110 DN 40 ISO-F
分子ポンプHiPace 80 TCP 350 DN 63 ISO-K
分子ポンプHiPace 80 TCP 350 DN 63 CF-F
分子ポンプHiPace 80 TCP 350 DN 40 ISO-KF
分子ポンプHiPace 80 TC 110 Profibus DN 63 ISO-K
分子ポンプHiPace 80 TC 110 Profibus DN 63 CF-F
分子ポンプHiPace 80 TC 110 Profibus DN 40 ISO-KF
分子ポンプHiPace 80 TC 110電源OPS 70 DN 63 ISO-K
分子ポンプHiPace 80 TC 110電源OPS 70 DN 63 CF-F
分子ポンプHiPace 80 TC 110電源OPS 70 DN 40 ISO-KF
分子ポンプHiPace 80 TC 110電源OPS 70 Profibus DN 63 ISO-K
分子ポンプHiPace 80 TC 110電源OPS 70 Profibus DN 63 CF-F
分子ポンプHiPace 80 TC 110電源OPS 70 Profibus DN 40 ISO-KF
分子ポンプHiPace 80 TC 110 E 74 DN 63 ISO-K
分子ポンプHiPace 80 TC 110 E 74 DN 63 CF-F
分子ポンプHiPace 80 TC 110 E 74 DN 40 ISO-KF
分子ポンプHiPace 80 TC 110 E 74電源OPS 70 DN 63 ISO-K
分子ポンプHiPace 80 TC 110 E 74電源OPS 70 DN 63 CF-F
分子ポンプHiPace 80 TC 110 E 74電源OPS 70 DN 40 ISO-KF
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